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激光干涉儀工作原理

發(fā)布時(shí)間:2013-06-25 08:38:13點(diǎn)擊數(shù):2312次

干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。

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